基于二维材料的侧向外延技术
来源: | 作者:国家第三代半导体技术创新中心(苏州) | 发布时间 :2025-02-23 | 17 次浏览: | 分享到:

区别于传统掩膜材料,创新性的使用二维材料(石墨烯),将异质外延材料的位错密度降低至1.1E175px-2的同时,实现了可自剥离,为大面积单晶材料的生长提供了新途径。

论文发表:

Li J , Xu Y , Tao J ,et al.Study on Nucleation and Growth Mode of GaN on Patterned Graphene by Epitaxial Lateral Overgrowth[J].Crystal growth & design, 2023(8):23