基于二维材料的侧向外延技术

区别于传统掩膜材料,创新性的使用二维材料(石墨烯),将异质外延材料的位错密度降低至1.1E175px-2的同时,实现了可自剥离,为大面积单晶材料的生长提供了新途径。

论文发表:

Li J , Xu Y , Tao J ,et al.Study on Nucleation and Growth Mode of GaN on Patterned Graphene by Epitaxial Lateral Overgrowth[J].Crystal growth & design, 2023(8):23