首页
中心概况
中心简介
党建工作
公共平台
材料生长创新平台
测试分析与服役评价平台
器件工艺与封装平台
模块设计与集成应用平台
协同创新
联合研发
揭榜挂帅
产业生态
合作交流
多元化投入
行业研究与产业专业报告
成果展示
知识产权
技术攻关
标准建设
人才引育
人才团队
热招岗位
动态资讯
新闻资讯
行业动态
合作对接
MOCVD学术会议专栏
首页
￤
测试分析与服役评价平台-特色服务
￤
FIB 聚焦离子束双束电镜(Thermofisher Helios 5UX)
FIB 聚焦离子束双束电镜(Thermofisher Helios 5UX)
来源:
|
作者:
.
|
发布时间 :
2024-06-23
|
327
次浏览:
|
🔊
点击朗读正文
❚❚
▶
|
分享到:
技术指标:
①离子束分辨率2.5nm at 30KeV;电子束分辨率0.6nm at 15KeV
②配备EDS，STEM模式
③PtWC沉积气体源
④XeF2刻蚀气体源
样品要求:
①无磁性且导电性良好
②样品表面高度差在um级，样品高度小于2cm
③可满足8寸晶圆的加工
上一篇：
高分辨多参量测试分析......
下一篇：
XRT X射线貌相仪......
