碳化硅缺陷密度分布
来源: | 作者:. | 发布时间 :2024-07-06 | 38 次浏览: | 分享到:

超高亮度X射线源和微米空间分辨CCD探测器保证了高空间分辨的晶圆缺陷无损成像。