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测试分析与服役评价平台-特色服务
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FIB 聚焦离子束双束电镜(Thermofisher Helios 5UX)
FIB 聚焦离子束双束电镜(Thermofisher Helios 5UX)
技术指标:
①离子束分辨率2.5nm at 30KeV;电子束分辨率0.6nm at 15KeV
②配备EDS，STEM模式
③PtWC沉积气体源
④XeF2刻蚀气体源
样品要求:
①无磁性且导电性良好
②样品表面高度差在um级，样品高度小于2cm
③可满足8寸晶圆的加工
来源:
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作者:
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发布时间 :
2024-06-23
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83
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