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测试分析与服役评价平台--典型测试案例
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高空间分辨表面电势测量（KPFM）
高空间分辨表面电势测量（KPFM）
来源:
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作者:
佚名
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发布时间 :
2021-10-08
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3331
次浏览:
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表面电势测量：
通过自主研发与设备改造，发展了双频锁相单次扫描的局域表面电势测试技术，
保障了<10nm空间分辨率电势测量。
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